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Fluoroware, Entegris
型号
| 图片 | 编号 | 型号 | 适用晶圆尺寸(φmm) |
|---|---|---|---|
  | 9-2327-01 | H-22-40套件 | 100（3.94”） |
| 9-2327-02 | H-22-30套件 | 76.2（3”） |
 | 9-2327-03 | H-22-50套件 | 125（4.92”） |
规格与参数
H-22-40套件
图片
编号
9-2327-01
型号
H-22-40套件
适用晶圆尺寸(φmm)
100（3.94”）
H-22-30套件
图片
编号
9-2327-02
型号
H-22-30套件
适用晶圆尺寸(φmm)
76.2（3”）
H-22-50套件
图片
编号
9-2327-03
型号
H-22-50套件
适用晶圆尺寸(φmm)
125（4.92”）
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