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(010) 5162-7666
质量流量控制器 マスフローコントローラ MASS FLOW CONTROLLER
HORIBASTEC/堀场
HORIBASTEC/堀场
特点
- 在1秒以内（T98）达到流量设定值的高速响应流量计。
- 搭载了高可靠性的热传感器和电磁阀。
- 搭载了自动调零功能。
规格
- 主体尺寸：-01～06／127×32×126mm、-07～12／124×32×126mm
- 流量精度：±1%F.S.（精度保证范围：15～35℃）
- 响应速度：１秒以内（T98）
- 流量控制范围：2～F.S.
- 接头：SW／1/4世伟洛克相当、VCR／1/4VCR相当
型号
| 图片 | 编号 | 型号 | 满量程流量(CCM) | 气体-接头 |
|---|---|---|---|---|
 | 2-752-01 | SEC-E40MK3-10CCM | 10 | N2-SW |
| 2-752-02 | SEC-E40MK3-10CCM | 10 | O2-SW |
| 2-752-03 | SEC-E40MK3-10CCM | 10 | Air-SW |
| 2-752-04 | SEC-E40MK3-10CCM | 10 | H2-SW |
| 2-752-05 | SEC-E40MK3-10CCM | 10 | Ar-SW |
| 2-752-06 | SEC-E40MK3-10CCM | 10 | He-SW |
| 2-752-07 | SEC-E40MK3-10CCM | 10 | N2-VCR |
| 2-752-08 | SEC-E40MK3-10CCM | 10 | O2-VCR |
| 2-752-09 | SEC-E40MK3-10CCM | 10 | Air-VCR |
| 2-752-10 | SEC-E40MK3-10CCM | 10 | H2-VCR |
| 2-752-11 | SEC-E40MK3-10CCM | 10 | Ar-VCR |
| 2-752-12 | SEC-E40MK3-10CCM | 10 | He-VCR |
| 2-753-01 | SEC-E40MK3-100CCM | 100 | N2-SW |
| 2-753-02 | SEC-E40MK3-100CCM | 100 | O2-SW |
| 2-753-03 | SEC-E40MK3-100CCM | 100 | Air-SW |
| 2-753-04 | SEC-E40MK3-100CCM | 100 | H2-SW |
| 2-753-05 | SEC-E40MK3-100CCM | 100 | Ar-SW |
| 2-753-06 | SEC-E40MK3-100CCM | 100 | He-SW |
| 2-753-07 | SEC-E40MK3-100CCM | 100 | N2-VCR |
| 2-753-08 | SEC-E40MK3-100CCM | 100 | O2-VCR |
| 2-753-09 | SEC-E40MK3-100CCM | 100 | Air-VCR |
| 2-753-10 | SEC-E40MK3-100CCM | 100 | H2-VCR |
| 2-753-11 | SEC-E40MK3-100CCM | 100 | Ar-VCR |
| 2-753-12 | SEC-E40MK3-100CCM | 100 | He-VCR |
| 2-754-01 | SEC-E40MK3-500CCM | 500 | N2-SW |
| 2-754-02 | SEC-E40MK3-500CCM | 500 | O2-SW |
| 2-754-03 | SEC-E40MK3-500CCM | 500 | Air-SW |
| 2-754-04 | SEC-E40MK3-500CCM | 500 | H2-SW |
| 2-754-05 | SEC-E40MK3-500CCM | 500 | Ar-SW |
| 2-754-06 | SEC-E40MK3-500CCM | 500 | He-SW |
| 2-754-07 | SEC-E40MK3-500CCM | 500 | N2-VCR |
| 2-754-08 | SEC-E40MK3-500CCM | 500 | O2-VCR |
| 2-754-09 | SEC-E40MK3-500CCM | 500 | Air-VCR |
| 2-754-10 | SEC-E40MK3-500CCM | 500 | H2-VCR |
| 2-754-11 | SEC-E40MK3-500CCM | 500 | Ar-VCR |
| 2-754-12 | SEC-E40MK3-500CCM | 500 | He-VCR |
| 2-755-01 | SEC-E40MK3-1LM | 1000 | N2-SW |
| 2-755-02 | SEC-E40MK3-1LM | 1000 | O2-SW |
| 2-755-03 | SEC-E40MK3-1LM | 1000 | Air-SW |
| 2-755-04 | SEC-E40MK3-1LM | 1000 | H2-SW |
| 2-755-05 | SEC-E40MK3-1LM | 1000 | Ar-SW |
| 2-755-06 | SEC-E40MK3-1LM | 1000 | He-SW |
| 2-755-07 | SEC-E40MK3-1LM | 1000 | N2-VCR |
| 2-755-08 | SEC-E40MK3-1LM | 1000 | O2-VCR |
| 2-755-09 | SEC-E40MK3-1LM | 1000 | Air-VCR |
| 2-755-10 | SEC-E40MK3-1LM | 1000 | H2-VCR |
| 2-755-11 | SEC-E40MK3-1LM | 1000 | Ar-VCR |
| 2-755-12 | SEC-E40MK3-1LM | 1000 | He-VCR |
| 2-756-01 | SEC-E40MK3-10LM | 10000 | N2-SW |
| 2-756-02 | SEC-E40MK3-10LM | 10000 | O2-SW |
| 2-756-03 | SEC-E40MK3-10LM | 10000 | Air-SW |
| 2-756-04 | SEC-E40MK3-10LM | 10000 | H2-SW |
| 2-756-05 | SEC-E40MK3-10LM | 10000 | Ar-SW |
| 2-756-06 | SEC-E40MK3-10LM | 10000 | He-SW |
| 2-756-07 | SEC-E40MK3-10LM | 10000 | N2-VCR |
| 2-756-08 | SEC-E40MK3-10LM | 10000 | O2-VCR |
| 2-756-09 | SEC-E40MK3-10LM | 10000 | Air-VCR |
| 2-756-10 | SEC-E40MK3-10LM | 10000 | H2-VCR |
| 2-756-11 | SEC-E40MK3-10LM | 10000 | Ar-VCR |
| 2-756-12 | SEC-E40MK3-10LM | 10000 | He-VCR |
| 2-757-01 | SEC-E50MK3-20LM | 20000 | N2-SW |
| 2-757-02 | SEC-E50MK3-20LM | 20000 | O2-SW |
| 2-757-03 | SEC-E50MK3-20LM | 20000 | Air-SW |
| 2-757-04 | SEC-E50MK3-20LM | 20000 | H2-SW |
| 2-757-05 | SEC-E50MK3-20LM | 20000 | Ar-SW |
| 2-757-06 | SEC-E50MK3-20LM | 20000 | He-SW |
| 2-757-07 | SEC-E50MK3-20LM | 20000 | N2-VCR |
| 2-757-08 | SEC-E50MK3-20LM | 20000 | O2-VCR |
| 2-757-09 | SEC-E50MK3-20LM | 20000 | Air-VCR |
| 2-757-10 | SEC-E50MK3-20LM | 20000 | H2-VCR |
| 2-757-11 | SEC-E50MK3-20LM | 20000 | Ar-VCR |
| 2-757-12 | SEC-E50MK3-20LM | 20000 | He-VCR |
| 2-758-01 | SEC-E50MK3-30LM | 30000 | N2-SW |
| 2-758-02 | SEC-E50MK3-30LM | 30000 | O2-SW |
| 2-758-03 | SEC-E50MK3-30LM | 30000 | Air-SW |
| 2-758-04 | SEC-E50MK3-30LM | 30000 | H2-SW |
| 2-758-05 | SEC-E50MK3-30LM | 30000 | Ar-SW |
| 2-758-06 | SEC-E50MK3-30LM | 30000 | He-SW |
| 2-758-07 | SEC-E50MK3-30LM | 30000 | N2-VCR |
| 2-758-08 | SEC-E50MK3-30LM | 30000 | O2-VCR |
| 2-758-09 | SEC-E50MK3-30LM | 30000 | Air-VCR |
| 2-758-10 | SEC-E50MK3-30LM | 30000 | H2-VCR |
| 2-758-11 | SEC-E50MK3-30LM | 30000 | Ar-VCR |
| 2-758-12 | SEC-E50MK3-30LM | 30000 | He-VCR |
   | 2-752-21 | PE-D20 | 电源一体型控制单元（48×170×96mm） | 电源一体型控制单元（48×170×96mm） |
 | 2-752-22 | SC-EDH-2M | MFC－控制单元间连接电缆（2m） | MFC－控制单元间连接电缆（2m） |
规格与参数
SEC-E40MK3-10CCM
图片
编号
2-752-01
型号
SEC-E40MK3-10CCM
满量程流量(CCM)
10
气体-接头
N2-SW
SEC-E40MK3-10CCM
图片
编号
2-752-02
型号
SEC-E40MK3-10CCM
满量程流量(CCM)
10
气体-接头
O2-SW
SEC-E40MK3-10CCM
图片
编号
2-752-03
型号
SEC-E40MK3-10CCM
满量程流量(CCM)
10
气体-接头
Air-SW
SEC-E40MK3-10CCM
图片
编号
2-752-04
型号
SEC-E40MK3-10CCM
满量程流量(CCM)
10
气体-接头
H2-SW
SEC-E40MK3-10CCM
图片
编号
2-752-05
型号
SEC-E40MK3-10CCM
满量程流量(CCM)
10
气体-接头
Ar-SW
SEC-E40MK3-10CCM
图片
编号
2-752-06
型号
SEC-E40MK3-10CCM
满量程流量(CCM)
10
气体-接头
He-SW
SEC-E40MK3-10CCM
图片
编号
2-752-07
型号
SEC-E40MK3-10CCM
满量程流量(CCM)
10
气体-接头
N2-VCR
SEC-E40MK3-10CCM
图片
编号
2-752-08
型号
SEC-E40MK3-10CCM
满量程流量(CCM)
10
气体-接头
O2-VCR
SEC-E40MK3-10CCM
图片
编号
2-752-09
型号
SEC-E40MK3-10CCM
满量程流量(CCM)
10
气体-接头
Air-VCR
SEC-E40MK3-10CCM
图片
编号
2-752-10
型号
SEC-E40MK3-10CCM
满量程流量(CCM)
10
气体-接头
H2-VCR
SEC-E40MK3-10CCM
图片
编号
2-752-11
型号
SEC-E40MK3-10CCM
满量程流量(CCM)
10
气体-接头
Ar-VCR
SEC-E40MK3-10CCM
图片
编号
2-752-12
型号
SEC-E40MK3-10CCM
满量程流量(CCM)
10
气体-接头
He-VCR
SEC-E40MK3-100CCM
图片
编号
2-753-01
型号
SEC-E40MK3-100CCM
满量程流量(CCM)
100
气体-接头
N2-SW
SEC-E40MK3-100CCM
图片
编号
2-753-02
型号
SEC-E40MK3-100CCM
满量程流量(CCM)
100
气体-接头
O2-SW
SEC-E40MK3-100CCM
图片
编号
2-753-03
型号
SEC-E40MK3-100CCM
满量程流量(CCM)
100
气体-接头
Air-SW
SEC-E40MK3-100CCM
图片
编号
2-753-04
型号
SEC-E40MK3-100CCM
满量程流量(CCM)
100
气体-接头
H2-SW
SEC-E40MK3-100CCM
图片
编号
2-753-05
型号
SEC-E40MK3-100CCM
满量程流量(CCM)
100
气体-接头
Ar-SW
SEC-E40MK3-100CCM
图片
编号
2-753-06
型号
SEC-E40MK3-100CCM
满量程流量(CCM)
100
气体-接头
He-SW
SEC-E40MK3-100CCM
图片
编号
2-753-07
型号
SEC-E40MK3-100CCM
满量程流量(CCM)
100
气体-接头
N2-VCR
SEC-E40MK3-100CCM
图片
编号
2-753-08
型号
SEC-E40MK3-100CCM
满量程流量(CCM)
100
气体-接头
O2-VCR
SEC-E40MK3-100CCM
图片
编号
2-753-09
型号
SEC-E40MK3-100CCM
满量程流量(CCM)
100
气体-接头
Air-VCR
SEC-E40MK3-100CCM
图片
编号
2-753-10
型号
SEC-E40MK3-100CCM
满量程流量(CCM)
100
气体-接头
H2-VCR
SEC-E40MK3-100CCM
图片
编号
2-753-11
型号
SEC-E40MK3-100CCM
满量程流量(CCM)
100
气体-接头
Ar-VCR
SEC-E40MK3-100CCM
图片
编号
2-753-12
型号
SEC-E40MK3-100CCM
满量程流量(CCM)
100
气体-接头
He-VCR
SEC-E40MK3-500CCM
图片
编号
2-754-01
型号
SEC-E40MK3-500CCM
满量程流量(CCM)
500
气体-接头
N2-SW
SEC-E40MK3-500CCM
图片
编号
2-754-02
型号
SEC-E40MK3-500CCM
满量程流量(CCM)
500
气体-接头
O2-SW
SEC-E40MK3-500CCM
图片
编号
2-754-03
型号
SEC-E40MK3-500CCM
满量程流量(CCM)
500
气体-接头
Air-SW
SEC-E40MK3-500CCM
图片
编号
2-754-04
型号
SEC-E40MK3-500CCM
满量程流量(CCM)
500
气体-接头
H2-SW
SEC-E40MK3-500CCM
图片
编号
2-754-05
型号
SEC-E40MK3-500CCM
满量程流量(CCM)
500
气体-接头
Ar-SW
SEC-E40MK3-500CCM
图片
编号
2-754-06
型号
SEC-E40MK3-500CCM
满量程流量(CCM)
500
气体-接头
He-SW
SEC-E40MK3-500CCM
图片
编号
2-754-07
型号
SEC-E40MK3-500CCM
满量程流量(CCM)
500
气体-接头
N2-VCR
SEC-E40MK3-500CCM
图片
编号
2-754-08
型号
SEC-E40MK3-500CCM
满量程流量(CCM)
500
气体-接头
O2-VCR
SEC-E40MK3-500CCM
图片
编号
2-754-09
型号
SEC-E40MK3-500CCM
满量程流量(CCM)
500
气体-接头
Air-VCR
SEC-E40MK3-500CCM
图片
编号
2-754-10
型号
SEC-E40MK3-500CCM
满量程流量(CCM)
500
气体-接头
H2-VCR
SEC-E40MK3-500CCM
图片
编号
2-754-11
型号
SEC-E40MK3-500CCM
满量程流量(CCM)
500
气体-接头
Ar-VCR
SEC-E40MK3-500CCM
图片
编号
2-754-12
型号
SEC-E40MK3-500CCM
满量程流量(CCM)
500
气体-接头
He-VCR
SEC-E40MK3-1LM
图片
编号
2-755-01
型号
SEC-E40MK3-1LM
满量程流量(CCM)
1000
气体-接头
N2-SW
SEC-E40MK3-1LM
图片
编号
2-755-02
型号
SEC-E40MK3-1LM
满量程流量(CCM)
1000
气体-接头
O2-SW
SEC-E40MK3-1LM
图片
编号
2-755-03
型号
SEC-E40MK3-1LM
满量程流量(CCM)
1000
气体-接头
Air-SW
SEC-E40MK3-1LM
图片
编号
2-755-04
型号
SEC-E40MK3-1LM
满量程流量(CCM)
1000
气体-接头
H2-SW
SEC-E40MK3-1LM
图片
编号
2-755-05
型号
SEC-E40MK3-1LM
满量程流量(CCM)
1000
气体-接头
Ar-SW
SEC-E40MK3-1LM
图片
编号
2-755-06
型号
SEC-E40MK3-1LM
满量程流量(CCM)
1000
气体-接头
He-SW
SEC-E40MK3-1LM
图片
编号
2-755-07
型号
SEC-E40MK3-1LM
满量程流量(CCM)
1000
气体-接头
N2-VCR
SEC-E40MK3-1LM
图片
编号
2-755-08
型号
SEC-E40MK3-1LM
满量程流量(CCM)
1000
气体-接头
O2-VCR
SEC-E40MK3-1LM
图片
编号
2-755-09
型号
SEC-E40MK3-1LM
满量程流量(CCM)
1000
气体-接头
Air-VCR
SEC-E40MK3-1LM
图片
编号
2-755-10
型号
SEC-E40MK3-1LM
满量程流量(CCM)
1000
气体-接头
H2-VCR
SEC-E40MK3-1LM
图片
编号
2-755-11
型号
SEC-E40MK3-1LM
满量程流量(CCM)
1000
气体-接头
Ar-VCR
SEC-E40MK3-1LM
图片
编号
2-755-12
型号
SEC-E40MK3-1LM
满量程流量(CCM)
1000
气体-接头
He-VCR
SEC-E40MK3-10LM
图片
编号
2-756-01
型号
SEC-E40MK3-10LM
满量程流量(CCM)
10000
气体-接头
N2-SW
SEC-E40MK3-10LM
图片
编号
2-756-02
型号
SEC-E40MK3-10LM
满量程流量(CCM)
10000
气体-接头
O2-SW
SEC-E40MK3-10LM
图片
编号
2-756-03
型号
SEC-E40MK3-10LM
满量程流量(CCM)
10000
气体-接头
Air-SW
SEC-E40MK3-10LM
图片
编号
2-756-04
型号
SEC-E40MK3-10LM
满量程流量(CCM)
10000
气体-接头
H2-SW
SEC-E40MK3-10LM
图片
编号
2-756-05
型号
SEC-E40MK3-10LM
满量程流量(CCM)
10000
气体-接头
Ar-SW
SEC-E40MK3-10LM
图片
编号
2-756-06
型号
SEC-E40MK3-10LM
满量程流量(CCM)
10000
气体-接头
He-SW
SEC-E40MK3-10LM
图片
编号
2-756-07
型号
SEC-E40MK3-10LM
满量程流量(CCM)
10000
气体-接头
N2-VCR
SEC-E40MK3-10LM
图片
编号
2-756-08
型号
SEC-E40MK3-10LM
满量程流量(CCM)
10000
气体-接头
O2-VCR
SEC-E40MK3-10LM
图片
编号
2-756-09
型号
SEC-E40MK3-10LM
满量程流量(CCM)
10000
气体-接头
Air-VCR
SEC-E40MK3-10LM
图片
编号
2-756-10
型号
SEC-E40MK3-10LM
满量程流量(CCM)
10000
气体-接头
H2-VCR
SEC-E40MK3-10LM
图片
编号
2-756-11
型号
SEC-E40MK3-10LM
满量程流量(CCM)
10000
气体-接头
Ar-VCR
SEC-E40MK3-10LM
图片
编号
2-756-12
型号
SEC-E40MK3-10LM
满量程流量(CCM)
10000
气体-接头
He-VCR
SEC-E50MK3-20LM
图片
编号
2-757-01
型号
SEC-E50MK3-20LM
满量程流量(CCM)
20000
气体-接头
N2-SW
SEC-E50MK3-20LM
图片
编号
2-757-02
型号
SEC-E50MK3-20LM
满量程流量(CCM)
20000
气体-接头
O2-SW
SEC-E50MK3-20LM
图片
编号
2-757-03
型号
SEC-E50MK3-20LM
满量程流量(CCM)
20000
气体-接头
Air-SW
SEC-E50MK3-20LM
图片
编号
2-757-04
型号
SEC-E50MK3-20LM
满量程流量(CCM)
20000
气体-接头
H2-SW
SEC-E50MK3-20LM
图片
编号
2-757-05
型号
SEC-E50MK3-20LM
满量程流量(CCM)
20000
气体-接头
Ar-SW
SEC-E50MK3-20LM
图片
编号
2-757-06
型号
SEC-E50MK3-20LM
满量程流量(CCM)
20000
气体-接头
He-SW
SEC-E50MK3-20LM
图片
编号
2-757-07
型号
SEC-E50MK3-20LM
满量程流量(CCM)
20000
气体-接头
N2-VCR
SEC-E50MK3-20LM
图片
编号
2-757-08
型号
SEC-E50MK3-20LM
满量程流量(CCM)
20000
气体-接头
O2-VCR
SEC-E50MK3-20LM
图片
编号
2-757-09
型号
SEC-E50MK3-20LM
满量程流量(CCM)
20000
气体-接头
Air-VCR
SEC-E50MK3-20LM
图片
编号
2-757-10
型号
SEC-E50MK3-20LM
满量程流量(CCM)
20000
气体-接头
H2-VCR
SEC-E50MK3-20LM
图片
编号
2-757-11
型号
SEC-E50MK3-20LM
满量程流量(CCM)
20000
气体-接头
Ar-VCR
SEC-E50MK3-20LM
图片
编号
2-757-12
型号
SEC-E50MK3-20LM
满量程流量(CCM)
20000
气体-接头
He-VCR
SEC-E50MK3-30LM
图片
编号
2-758-01
型号
SEC-E50MK3-30LM
满量程流量(CCM)
30000
气体-接头
N2-SW
SEC-E50MK3-30LM
图片
编号
2-758-02
型号
SEC-E50MK3-30LM
满量程流量(CCM)
30000
气体-接头
O2-SW
SEC-E50MK3-30LM
图片
编号
2-758-03
型号
SEC-E50MK3-30LM
满量程流量(CCM)
30000
气体-接头
Air-SW
SEC-E50MK3-30LM
图片
编号
2-758-04
型号
SEC-E50MK3-30LM
满量程流量(CCM)
30000
气体-接头
H2-SW
SEC-E50MK3-30LM
图片
编号
2-758-05
型号
SEC-E50MK3-30LM
满量程流量(CCM)
30000
气体-接头
Ar-SW
SEC-E50MK3-30LM
图片
编号
2-758-06
型号
SEC-E50MK3-30LM
满量程流量(CCM)
30000
气体-接头
He-SW
SEC-E50MK3-30LM
图片
编号
2-758-07
型号
SEC-E50MK3-30LM
满量程流量(CCM)
30000
气体-接头
N2-VCR
SEC-E50MK3-30LM
图片
编号
2-758-08
型号
SEC-E50MK3-30LM
满量程流量(CCM)
30000
气体-接头
O2-VCR
SEC-E50MK3-30LM
图片
编号
2-758-09
型号
SEC-E50MK3-30LM
满量程流量(CCM)
30000
气体-接头
Air-VCR
SEC-E50MK3-30LM
图片
编号
2-758-10
型号
SEC-E50MK3-30LM
满量程流量(CCM)
30000
气体-接头
H2-VCR
SEC-E50MK3-30LM
图片
编号
2-758-11
型号
SEC-E50MK3-30LM
满量程流量(CCM)
30000
气体-接头
Ar-VCR
SEC-E50MK3-30LM
图片
编号
2-758-12
型号
SEC-E50MK3-30LM
满量程流量(CCM)
30000
气体-接头
He-VCR
PE-D20
图片
编号
2-752-21
型号
PE-D20
满量程流量(CCM)
电源一体型控制单元（48×170×96mm）
气体-接头
电源一体型控制单元（48×170×96mm）
SC-EDH-2M
图片
编号
2-752-22
型号
SC-EDH-2M
满量程流量(CCM)
MFC－控制单元间连接电缆（2m）
气体-接头
MFC－控制单元间连接电缆（2m）
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