G-10DA
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                            吸气口径(OD)×(ID)mm
                                            18×14(M20×P1)
                                         
                                                                                
                                                                                G-25SA
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                            吸气口径(OD)×(ID)mm
                                            18×14(M20×P1)
                                         
                                                                                
                                                                                G-20DA
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                            吸气口径(OD)×(ID)mm
                                            18×14(M20×P1)
                                         
                                                                                
                                                                                〇G-50SA
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                            吸气口径(OD)×(ID)mm
                                            18×14(M20×P1)
                                         
                                                                                
                                                                                G-50DA
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                            吸气口径(OD)×(ID)mm
                                            18×14(M20×P1)
                                         
                                                                                
                                                                                〇G-101S
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                            吸气口径(OD)×(ID)mm
                                            27×20(□40法兰)
                                         
                                                                                
                                                                                G-101D
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                            到达压力(Pa)
                                            6.7×10-1(5×10-4Torr)气镇阀关闭6.7(5×10-2Torr)气镇阀打开
                                         
                                                                                
                                            吸气口径(OD)×(ID)mm
                                            27×20(□40法兰)
                                         
                                                                                
                                                                                G-5
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                G-5DA
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                            吸气口径(OD)×(ID)mm
                                            12×6(M20×P1)
                                         
                                                                                
                                                                                M20×P1×φ8
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                            吸气口径(OD)×(ID)mm
                                            G-10DA・25SA・20DA・50SA・50DA・5DA用
                                         
                                                                                
                                                                                M20×P1×φ12
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                            吸气口径(OD)×(ID)mm
                                            G-10DA・25SA・20DA・50SA・50DA・5DA用
                                         
                                                                                
                                                                                M20×P1×φ15
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                            吸气口径(OD)×(ID)mm
                                            G-10DA・25SA・20DA・50SA・50DA・5DA用
                                         
                                                                                
                                                                                M20×P1×φ18
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                            吸气口径(OD)×(ID)mm
                                            G-10DA・25SA・20DA・50SA・50DA・5DA用
                                         
                                                                                
                                                                                M20×P1×φ22
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                            吸气口径(OD)×(ID)mm
                                            G-10DA・25SA・20DA・50SA・50DA・5DA用
                                         
                                                                                
                                                                                M20×P1×KF25
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                            吸气口径(OD)×(ID)mm
                                            G-10DA・25SA・20DA・50SA・50DA・5DA用
                                         
                                                                                
                                                                                □40×M20×P1
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                                                                
                                            排气速度(实效)
                                            G101D・101S用吸气适配器(BS+镀制)