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晶圆托盘 ウェハートレー WAFER SHIPPING TRAY
Fluoroware, Entegris
Fluoroware, Entegris
特点
- 将晶圆表面朝下进行收纳。
- 盘低为圆锥状，只接触到晶圆边缘。
- 用弹性片固定晶圆。
- 托盘之间或托盘与盖子之间可叠放，托盘还可相互固定起来叠放。
规格
- 材质：天然PP
型号
| 图片 | 编号 | 型号 | 适用晶圆(mm) | 品名 |
|---|---|---|---|---|
| 9-3051-01 | H22-60-0615 | 150（5.9”） | 托盘 |
| 9-3051-02 | H22-601-0615 | - | 盖子 |
| 9-3051-03 | H22-602-0615 | - | 弹性片 |
| 9-3052-01 | H22-50-0615 | 125（4.92”） | 托盘 |
| 9-3052-02 | H22-501-0615 | - | 盖子 |
| 9-3052-03 | H22-502-0615 | - | 弹性片 |
| 9-3053-01 | H22-40JV-0615 | 100（3.94”） | 托盘 |
| 9-3053-02 | H22-401JV-0615 | - | 盖子 |
| 9-3053-03 | H22-402JV-0615 | - | 弹性片 |
| 9-3054-01 | H22-35-0615 | 90（3.54”） | 托盘 |
| 9-3054-02 | H22-351-0615 | - | 盖子 |
| 9-3054-03 | H22-352-0615 | - | 弹性片 |
 | 9-3055-01 | H22-30JV-0615 | 76.2（3”） | 托盘 |
| 9-3055-02 | H22-301JV-0615 | - | 盖子 |
 | 9-3055-03 | H22-302JV-0615 | - | 弹性片 |
| 9-3056-01 | H22-25-0615 | 63.5（2.5”） | 托盘 |
 | 9-3056-02 | H22-251-0615 | - | 盖子 |
| 9-3056-03 | H22-252-0615 | - | 弹性片 |
| 9-3057-01 | H22-20JV-0615 | 50.8（2”） | 托盘 |
| 9-3057-02 | H22-201JV-0615 | - | 盖子 |
| 9-3057-03 | H22-202JV-0615 | - | 弹性片 |
| 9-3058-01 | H22-15JV-0615 | 38.1（1.5”） | 托盘 |
| 9-3058-02 | H22-151JV-0615 | - | 盖子 |
| 9-3058-03 | H22-152JV-0615 | - | 弹性片 |
 | 9-3059-01 | H22-10-0615 | 25.4（1”） | 托盘 |
| 9-3059-02 | H22-101-0615 | - | 盖子 |
规格与参数
H22-60-0615
图片
编号
9-3051-01
型号
H22-60-0615
适用晶圆(mm)
150（5.9”）
品名
托盘
H22-601-0615
图片
编号
9-3051-02
型号
H22-601-0615
适用晶圆(mm)
-
品名
盖子
H22-602-0615
图片
编号
9-3051-03
型号
H22-602-0615
适用晶圆(mm)
-
品名
弹性片
H22-50-0615
图片
编号
9-3052-01
型号
H22-50-0615
适用晶圆(mm)
125（4.92”）
品名
托盘
H22-501-0615
图片
编号
9-3052-02
型号
H22-501-0615
适用晶圆(mm)
-
品名
盖子
H22-502-0615
图片
编号
9-3052-03
型号
H22-502-0615
适用晶圆(mm)
-
品名
弹性片
H22-40JV-0615
图片
编号
9-3053-01
型号
H22-40JV-0615
适用晶圆(mm)
100（3.94”）
品名
托盘
H22-401JV-0615
图片
编号
9-3053-02
型号
H22-401JV-0615
适用晶圆(mm)
-
品名
盖子
H22-402JV-0615
图片
编号
9-3053-03
型号
H22-402JV-0615
适用晶圆(mm)
-
品名
弹性片
H22-35-0615
图片
编号
9-3054-01
型号
H22-35-0615
适用晶圆(mm)
90（3.54”）
品名
托盘
H22-351-0615
图片
编号
9-3054-02
型号
H22-351-0615
适用晶圆(mm)
-
品名
盖子
H22-352-0615
图片
编号
9-3054-03
型号
H22-352-0615
适用晶圆(mm)
-
品名
弹性片
H22-30JV-0615
图片
编号
9-3055-01
型号
H22-30JV-0615
适用晶圆(mm)
76.2（3”）
品名
托盘
H22-301JV-0615
图片
编号
9-3055-02
型号
H22-301JV-0615
适用晶圆(mm)
-
品名
盖子
H22-302JV-0615
图片
编号
9-3055-03
型号
H22-302JV-0615
适用晶圆(mm)
-
品名
弹性片
H22-25-0615
图片
编号
9-3056-01
型号
H22-25-0615
适用晶圆(mm)
63.5（2.5”）
品名
托盘
H22-251-0615
图片
编号
9-3056-02
型号
H22-251-0615
适用晶圆(mm)
-
品名
盖子
H22-252-0615
图片
编号
9-3056-03
型号
H22-252-0615
适用晶圆(mm)
-
品名
弹性片
H22-20JV-0615
图片
编号
9-3057-01
型号
H22-20JV-0615
适用晶圆(mm)
50.8（2”）
品名
托盘
H22-201JV-0615
图片
编号
9-3057-02
型号
H22-201JV-0615
适用晶圆(mm)
-
品名
盖子
H22-202JV-0615
图片
编号
9-3057-03
型号
H22-202JV-0615
适用晶圆(mm)
-
品名
弹性片
H22-15JV-0615
图片
编号
9-3058-01
型号
H22-15JV-0615
适用晶圆(mm)
38.1（1.5”）
品名
托盘
H22-151JV-0615
图片
编号
9-3058-02
型号
H22-151JV-0615
适用晶圆(mm)
-
品名
盖子
H22-152JV-0615
图片
编号
9-3058-03
型号
H22-152JV-0615
适用晶圆(mm)
-
品名
弹性片
H22-10-0615
图片
编号
9-3059-01
型号
H22-10-0615
适用晶圆(mm)
25.4（1”）
品名
托盘
H22-101-0615
图片
编号
9-3059-02
型号
H22-101-0615
适用晶圆(mm)
-
品名
盖子
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